氦質(zhì)譜檢漏儀原理
2020.08.28
它是基于磁場偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜分析原理而工作的。在高真空的質(zhì)譜分析室內(nèi),待分析氣體的中性分子進(jìn)入離子室(或離子源) ,受到加熱鎢絲發(fā)射出來的電子束的轟擊,分子的相當(dāng)一部分轉(zhuǎn)為離子,然后電離的離子束通過電場被加速。分析管在磁場內(nèi),根據(jù)離子的質(zhì)量(或準(zhǔn)確的說是質(zhì)荷比m/e) ,該磁場使離子路徑按不同的半徑彎曲。離子束中不同質(zhì)量的離子被分成幾束,每束只含相同的m/e的離子。氦離子(m/e=4)從較輕的離子(較小半徑的H2+和H1+)和較重的離子(較大半徑的N2+和O2+ )中分離出來。由于有恒定的磁場(磁鐵),調(diào)節(jié)加速磁場使氦離子沿特定的路徑(通過膜片)撞擊置于直流放大器輸入端的靶子上(或稱收集)。裝置里的氦離子束與氦分壓成正比,根據(jù)被接收到的離子流強(qiáng)度,便可得到泄漏的流量值。
